HS1.30 APERTURE

HS1.50 APERTURE

HS1.70 APERTURE

运动范围（μm）

30

50

70

分辨率（nm）

0,03

0,05

0,07

典型的噪声基准（nm）

0,003

0,005

0,007

全范围重复性（nm）

0,06

0,1

0,14

线性化（典型的）

0,02%

0,02%

0,02%

谐振频率（hz)

4000

4000

4000

刚度 (N/μm)

3

3

3

负载（kg）-水平使用

1

1

1

负载（kg）-垂直使用

0,5

0,5

0,5

传感器

Silicon HR sensor

Silicon HR sensor

Silicon HR sensor

尺寸：W x L x H (mm)

62,5 x 96,10 x 12,6

62,5 x 116,10 x 12,6

62,5 x 138,10 x 12,6

材料

Al

Al

Al

电缆长度（m）

2

2

2

推荐控制器

Standard or High Speed

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