FOC100

FOC200

FOC300

运动范围（μm）

100

200

300

分辨率（nm）

0,1

0,2

0,3

典型的噪声基准（nm）

0,01

0,02

0,03

全范围重复性（nm）

0,2

0,4

0,6

线性化（典型的）

0,02%

0,02%

0,02%

谐振频率（hz)

500

350

250

刚度 (N/μm)

0,6

0,4

0,3

负载（kg）-水平使用

0,5

0,5

0,5

负载（kg）-垂直使用

0,5

0,5

0,5

传感器

Silicon HR sensor

Silicon HR sensor

Silicon HR sensor

尺寸：W x L x H (mm)

53,6 x 64,2 x 34,50

53,6 x 64,2 x 34,50

53,6 x 64,2 x 34,50

材料

Al

Al

Al

电缆长度（m）

2

2

2

推荐控制器

Standard

Standard

Standard