LFHS2

运动范围XY（μm）

75

分辨率XY（nm）

0,075

典型的噪声基准 XY（nm）

0,0075

的重复性XY（nm）

0,15

线性化（典型的）

0,02%

谐振频率X / Y（Hz）

3000/2000

刚度 (N/μm)

4/3

负载（kg）-水平使用

1

负载（kg）-垂直使用

0,5

传感器

Silicon HR sensor

尺寸W x L x H (mm)

120,8 x 120,7 x 28,5

材料

Al

电缆长度（m）

2

推荐控制器

High Speed