LTHS2
运动范围XY（μm）
75
分辨率XY（nm）
0,075
典型的噪声基准 XY（nm）
0,0075
的重复性XY（nm）
0,15
线性化（典型的）
0,02%
谐振频率X / Y（Hz）
1500/1000
刚度 (N/μm)
2/2
负载（kg）-水平使用
0,5
负载（kg）-垂直使用
0,3
传感器
Silicon HR sensor
尺寸W x L x H (mm)
152,5 x 190 x 18,5
材料
Al
电缆长度（m）
2
推荐控制器
Standard or High Speed
10
19
2021
LTHS2 2轴纳米位移平台
来源:[长春市海洋光电有限公司]
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