LFHS3

运动范围XYZ（μm）

75

75

50

分辨率XYZ（nm）

0,075

0,075

0,05

典型的噪声基准XYZ（nm）

0,0075

0,0075

0,005

的重复性XYZ（nm）

0,15

0,15

0,1

线性化（典型的）

0,02%

0,02%

0,02%

谐振频率X / Y / Z（赫兹）

3000

2000

1500

刚度 X/Y/Z (N/μm)

4

3

3

负载（kg）-水平使用

1

负载（kg）-垂直使用

0,5

传感器

Silicon HR sensor

尺寸W x L x H (mm)

140 x 121 x 33,6

材料

Al

电缆长度（m）

2

推荐控制器

High Speed