CUBE3.100
CUBE3.200
运动范围XYZ(μm)
100
200
分辨率XYZ(nm)
0,1
0,2
典型的噪声基准XYZ(nm)
0,01
0,02
的重复性XYZ(nm)
0,2
0,4
线性化(典型的)
0,02%
0,02%
谐振频率X / Y / Z(赫兹)
200/200/500
200/200/500
刚度 X/Y/Z (N/μm)
0,3/0,3/0,6
0,3/0,3/0,6
负载(kg)-水平使用
0,5
0,5
负载(kg)-垂直使用
0,1
0,1
传感器
Silicon HR sensor
Silicon HR sensor
尺寸W x L x H (mm)
63,5 x 63,5 x 52,45
63,5 x 63,5 x 52,45
材料
Al
Al
电缆长度(m)
2
2
推荐控制器
Standard
Standard
10
18
2021
CUBE3 3轴纳米位移平台
来源:[长春市海洋光电有限公司]
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