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05 25 2020

AE CESAR 射频电源维修

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来源:[北京泰科瑞迪工业设备有限公司]
联系人:郗先生
手机:13681510263
电话:010-52455102
传真:010-87311207
QQ:2881348109
Email:wx@tycorady.com
地址:北京北京市朝阳区南新园西路6号9A1室
品牌:AE CESAR
价格:面议 元/
供应地:北京北京市
产品型号:

北京泰科瑞迪 维修各种类进口仪器仪表
可维修故障:
1、电源故障:不能正常开机
2、输入端故障:端口没有正常响应;无输出;无输入;信号异常
3、测试分析故障:测试结果异常;校准失败;超差
4、显示故障:花屏;黑屏
5、按键故障:按键无反应;调节旋钮无响应
6、接口故障:不认存储介质;不能与控制系统联机
7、其他使用问题等。

强大而多功能的 Cesar® 射频电源平台可提供非常稳定的射频功率输送性能,以及一个多样化的模式选择,每种模式都具有一套独特的功能(2413.5627.1240.68 MHz0.35 kW;拥有多种用户界面和输入选择),从而使您能够选择一套特别适合您应用的组件——而无需定制发生器所需的漫长交付期。
高质量的组件和较少的零件数量使可靠性和产品生命周期均实现zui优化,从而使您的投资和制程生产力得到zui大化的利用。一个全面而高度灵敏的操作菜单(可在该组件的多功能前面板上找到,并显示在一个大的液晶显示屏上)带来了无与伦比的便利性——提高了操作人员的效率,并使培训成本zui小化。

典型应用:

高密度等离子体化学气相淀积(HDP CVD

等离子体增强化学气相沉积(PECVD

刻蚀-RIE/ICP

物理气相沉积

等离子清洗

 

优点

?  更长的制程正常运行时间

?  更高的操作简易性和灵活性

?  无需定制组件提前期的定制化性能

?  长期的使用简易性,节省成本

功能

?  精簡的流线型设计

?  标准的平台包装

?  高效率——低发热量

?  200400 VAC 的输入选择

?  两个模拟用户端口选择

?  RS-232、以太网及 Profibus 通讯

?  多功能前面板

?  便利、全面的操作菜单

?  CEX(相位同步)操作模式

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