通常在峰值效率时复制光栅。复制全息光栅时需要将杂散光调整到最小,且需要高分辨率的母尺。 注意:光栅尺和全息光栅尺的损坏阈制再脉冲激光下为350mj/cm2,在连续激光模式下为40Watts/cm2。 如何制造刻线式衍射光栅 刻线式衍射光栅是在一个镀了铝膜的光学基板上刻有一系列密集的、间距线宽相等的平行直线,通常叫做“主尺”。采用高精密的干涉测量驱动器控制一个钻石刀来按照设定的间距和角度进行刻划,形成锯齿状的槽纹(通常称为闪耀角)。 复制时首先在母板上真空沉积一层很薄的膜层,然后在分离层上镀一层铝膜,再在顶层镀上一层环氧层,复制刻槽表面,再分离母光栅,结束制造。
光栅参数
刻线数Lines/mm
1200
尺寸Dimension
mm
32*32mm
厚度公差Thickness Tolerance
±0.1mm
光洁度surface quality
20-10
闪耀波长wavelength
600
材料material
Bk7
06
26
2024
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来源:[沈阳亿贝特光电有限公司]
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