广泛的工作条件与精密测量功能相结合

• 适合功率器件表征的综合解决方案，高达 1500 A 和 10 kV
• 中等电流测量和高电压偏置（例如，500 mA，1200 V）
• μΩ 导通电阻测量功能
• 高电压偏置时，可进行精确的 sub-pA 电平电流测量
• 在 -50 ℃ 至 +250 ℃ 温度范围内进行全自动热测试

广泛的器件测量功能

• 可在高达 3000 V 直流偏置时执行全自动电容测量（Ciss、Coss、Crss 等）
• 10 μs 高功率脉冲测量
• 封装器件和晶圆上 IGBT/FET 栅极电荷测量
• 高电压/强电流快速切换选件，适用于 GaN 电流崩塌效应表征
• 多达 5 个高电压（3 kV）电源/测量通道，提供大的灵活性
• 通过互锁测试夹具执行安全的与温度相关的测试

改进的测量效率

• 在高电压和强电流测量之间自动切换，无需重新布线
• 自动测试电路形成，可用于封装器件和晶圆上器件的晶体管结电容（Ciss、Coss、Crss、Cgs、Cgd、Cds 等）测量
• 具有互锁机制的标准测试夹具，可进行封装功率器件测试
• 支持高达 200 A 和 10 kV 的高功率晶圆上测试
• 示波器视图支持对应用电压和电流波形的验证
• MS WINOOWs EasyEXPERT 软件简化了数据管理和分析流程