CPS-7000低温真空探针台利用液氮/液氦制冷，对样品进行无损测试，可以对材料或器件进行电学特性测量、光电特性测量、参数测量、高阻测量、DC测量、RF测量和微波特性测量，系统可提供3.2K的温度扩展选件、振动隔离装置、LN2杜瓦、高放大倍数的显微镜、分子泵机组、热辐射屏的温度控制装置、探针臂的光纤电缆、光学样品架等选件。

■ 显微成像装置
便于观察微型样品测量，设有聚焦视觉系统，LCD19监视器、USB Camera位移台的Monoscopes光学观测组件，选择合适的放大倍率和光源，可以清晰查看探针针尖位置，以便准确无误的进行样品测试；
■ 探针台
将样品放入探针台，通过调节探针杆控制探针夹持样品进行测量，可以通过顶部玻璃观察窗观察样品情况和探针位置；

■ 三维位移台
X/Y/Z驱动距离分别为50/25/25mm，X是导入杆轴向，Y是导入杆水平径向，Z是导入杆上下方向。三维位移台搭配压缩波纹管，实现真空环境下三维调整，两者中间连接电极安装座，可以适配不通接口的真空feedthroughs；
■ 气动隔振台
采用低固有频率的空气弹簧作为振动隔离材料，并在支撑架上安装了三个水平自动调节阀，以搭载低温探针台进行隔离振动干扰实验。