佰力博薄膜介电测量系统

佰力博薄膜介电测量系统由Partulab CPS-7000低温真空探针台、Wayne Kerr阻抗分析仪和DEMeaskit 介电测量套件等组成，佰力博薄膜介电测量系统配备SRS公司的CTC-100低温温控仪与Wayne Kerr阻抗分析仪和MEMS多功能材料电学测量软件无缝连接，实现薄膜电介质材料的变温电学测量，无需客户再编写应用程序，大大节约器件和材料研发时间。

佰力博薄膜介电测量系统功能特点：

1、可实现低温、真空、气氛测量环境；

2、针对薄膜材料测量；

3、三维位移平台，最多配置6个探针臂，操作简单，使用方便；

4、同一平台，选配不同测量套件可测介电、压电、铁电薄膜。

佰力博薄膜介电测量系统技术规格

探针臂个数：4个或6个

AC阻抗测量：20Hz 至 30MHz

测量温度：-160℃~400℃

降温时间：~45min to 110K

测量精度：0.05%

真空度：~10-6 mbar

测量参数：C电容

最大样品尺寸：≤51mm

C-V测量的电压：内置±40V DC偏置装置

碳化钨探针夹具阻抗：50Ω

XYZ位移平台行程：X轴51mm,精度20μm；Y轴25mm,精度10μm；Z轴25mm,精度10μm数据传输：4个USB接口

测量原理

测量时为了避免探针臂的温度传递到样品上，导致样品温度高于样品台温度，探针臂必须做热沉处理。系统配置3个低温传感器，在样品台，屏蔽罩和探针臂上，通过监测三个地方的温度来确保有一个准确的控温环境。（注意：样品温度准确性和温度稳定性是整个低温系统的关键。）