型号:FS    品牌  迪川    
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FS列是采用世界领先的美国微机电系统（MEMS）流量传感技术和智能电子控制技术，专为普通气体流量监测开发的产品。
该传感器能直接测量气体质量流量，压损低。适用于净化空气或氮气流量，还可用于环保监测仪器，如空气采样
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产品概述:  
FS4003流量传感器，管道内径为3mm，成本低测量范围最大到5SLPM；适用于粒子计数器和各类分析仪器。
FS4008流量传感器，管道内径为8mm，测量范围最大到50SLPM；
产品特点:  
      -  专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而设计  
    -  支持多种连接方式，易于安装与使用  
        -  传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量  
        -  在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了100:1甚至更高  
        -  输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压  
        -  零点稳定度高  
        -  全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性  
        -  低功耗、低压损  
        -  响应速度快  
产品特点:  

性能参数  FS4003  FS4008  单位  
通  径  3  8  mm  
最大流量  2,  3,  4,  5  10,  20,  30,  40,  50  SLPM  
量程比  100:1    
精  度  ±(1.5+0.2FS)  %  
重复性  0.75  %  
零点输出飘移  ±30  mV  
输出飘移  0.12  %/oC  
响应时间  100  ms  
工作电源  8~18Vdc,100mA      
输出方式  线性，RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc      
最大流量压损  100  600  pa  
最大工作压力  0.5  MPa  
工作温度  -10  ~  +55  oC  
存储温度  -20  ~  +65  oC  
工作湿度  <95%RH（无结冰、无凝露）      
机械接口  BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接头    
校准方式  空气（或其他气体），20oC，101.325kPa    
重量  57（带R1/4,BSPT1/4接口）
71(带4mm，8mm快速接口，68（带6mm快速接头)  
英文说明
Unit  performance  parameters  FS4003  FS4008  
3  8  mm  diameter  
Maximum  flow  2,  3,  4,  5  10,  20,  30,  40,  50  SLPM  
100:1  turndown  ratio  
Accuracy  ±  (1.5  +0.2  FS)%  
Repeatability  0.75%  
Zero  drift  ±  30  mV  
Output  drift  0.12%  /  oC  
Response  time  100  ms  
Power  Supply  8  ~  18Vdc,  100mA  
Linear  output,  RS232  /  analog  voltage  0.5  ~  4.5Vdc  
Maximum  flow  pressure  loss  100  600  pa  
Maximum  working  pressure  of  0.5  MPa  
Operating  temperature  -10  ~  +55  oC  
Storage  temperature  -20  ~  +65  oC  
Humidity  <95%  RH  (with  no  icing  or  condensation)  
Mechanical  interface  BSPT1  /  4  (R1  /  4),  4mm/6mm/8mm  quick  connector  
Calibration  methods  of  air  (or  other  gases),  20oC,  101.325kPa  
Weight  of  57  (with  R1  /  4,  BSPT1  /  4  interface)  
71  (with  4mm,  8mm  fast  interface,  68  (with  6mm  quick  connector)...