一.性能特点:
1.测量精度高、速度快,稳定性好
①使用美国高性能氦氖激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm)
②以光波长(633nm)为测量单位,分辨率可达nm级
③使用高速光电信号采样和处理技术,测量速度可达到4m/s。
④配合有环境补偿单元,在环境变化的情况下,也可以得到较高的测量精度
⑤分离式干涉镜设计,避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变
2. 应用范围广
①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测
②结合我们的软件系统,可以用于速度,加速度,振动分析以及稳定度等分析
③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据,进行动态特性分析
3 软件界面友好
① 使用当前热门的软件界面开发工具,软件界面人性化,操作简单。
②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中,更方便用户切换测量类型。
③向导式操作,流程清晰,更符合国内用户的使用习惯。
4 性价比高
性能达到了国外仪器的水准,价格是国内仪器的良心价。
二.产品功能:
激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具,可按照规定标准处理测量数据并输出误差曲线,为数控机床的误差
修正提供可靠依据,现场使用尤为方便。
激光干涉仪配有各种附件,可测量小角度、平面度、直线度、平 行度、垂直度等形位误差。
激光干涉仪也是一种高精度位移传感器,可直接用于高精度、大 尺寸的动态位移测量系统。
激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量 元件的检测和刻划功能,可按预定的间距自动完成检测和刻划定位。
三.技术参数:
2 测量方式:单频
2 稳频精度:0.05ppm
2 动态采集频率:50
kHz
2 预热时间:5-10分钟
2 工作温度范围:0~40℃
2 环境温度范围:0~40℃
2 存储温度范围:-20℃~70℃
2 空气温度传感器:±0.2℃
(0-40℃),分辨率0.01℃
2 材料温度传感器:±0.1℃
(0-40℃),分辨率0.01℃
2 空气湿度传感器:±6%
(0-95%)
2 大气压力传感器:±1mBar
(650-1150mbar)
2 测量距离:0-40m
2 测量精度:0.5ppm
(0-40℃)
2 测量分辨率:1nm
2 测量最大速度:4m/sec
2 轴向量程:0-15m
2 测量范围:±10°
2 测量精度:±0.6%R±0.5±0.1M
μm/m(M为光学镜移动距离,单位:m)
2 测量分辨率:0.1μm/m
2 轴向量程:0.1-4.0
m
2 测量范围:±2.5
mm
2 测量精度:±0.5%
R±0.5±0.15M2 μm(M为光学镜移动距离,单位:m)
2 测量分辨率:0.01μm
2 测量范围:±3/M
mm/m
2 测量精度:±0.5%
R±2.5±0.8M
μm/m(M为光学镜移动距离,单位:m)
2 测量分辨率:0.01μm/m
2 轴向量程:0-15
m
2 测量范围:±1.5
mm
2 测量精度:±0.6%
R±0.02
M2 μm/m(M为光学镜移动距离,单位:m)
2 测量分辨率:0.1μm
2 角度测量范围:0-360°
2 精密转台角度增量:5°
2 精密转台分度精度:±1秒
2 精密转台重复性:0.2秒
系统性能
环境补偿示值误差
线性测量
角度测量
直线度测量
垂直度测量
平面度测量
回转轴分度精度测量
02
07
2017
激光干涉仪
来源:[深圳市中图仪器股份有限公司]
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产品型号:SJ6000