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02 07 2017

激光干涉仪

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来源:[深圳市中图仪器股份有限公司]
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地址:广东省深圳市深圳市南山区西丽学苑大道1001号南山智园B1栋2楼
品牌:中图
价格:面议 元/
供应地:广东省深圳市
产品型号:SJ6000

一.性能特点:

1.测量精度高、速度快,稳定性好

①使用美国高性能氦氖激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm)

②以光波长(633nm)为测量单位,分辨率可达nm

③使用高速光电信号采样和处理技术,测量速度可达到4m/s

④配合有环境补偿单元,在环境变化的情况下,也可以得到较高的测量精度

⑤分离式干涉镜设计,避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变

2. 应用范围广

①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测

②结合我们的软件系统,可以用于速度,加速度,振动分析以及稳定度等分析

③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据,进行动态特性分析

3 软件界面友好

①  使用当前热门的软件界面开发工具,软件界面人性化,操作简单。

②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中,更方便用户切换测量类型。

③向导式操作,流程清晰,更符合国内用户的使用习惯。

4 性价比高

性能达到了国外仪器的水准,价格是国内仪器的良心价。

二.产品功能:

激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具,可按照规定标准处理测量数据并输出误差曲线,为数控机床的误差 修正提供可靠依据,现场使用尤为方便。

激光干涉仪配有各种附件,可测量小角度、平面度、直线度、平 行度、垂直度等形位误差。

激光干涉仪也是一种高精度位移传感器,可直接用于高精度、大 尺寸的动态位移测量系统。

激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量 元件的检测和刻划功能,可按预定的间距自动完成检测和刻划定位。




三.技术参数:

*   *   系统性能

2  测量方式:单频

2  稳频精度:0.05ppm

2  动态采集频率:50 kHz

2  预热时间:5-10分钟

2  工作温度范围:0~40℃

2  环境温度范围:0~40℃

2  存储温度范围:-20℃~70℃

*      环境补偿示值误差

2  空气温度传感器:±0.2℃ (0-40℃),分辨率0.01℃

2  材料温度传感器:±0.1℃ (0-40℃),分辨率0.01℃

2  空气湿度传感器:±6% (0-95%)

2  大气压力传感器:±1mBar (650-1150mbar)

*      线性测量

2  测量距离:0-40m

2  测量精度:0.5ppm (0-40℃)

2  测量分辨率:1nm

2  测量最大速度:4m/sec

*      角度测量

2  轴向量程:0-15m

2  测量范围:±10°

2  测量精度:±0.6%R±0.5±0.1M μm/m(M为光学镜移动距离,单位:m)

2  测量分辨率:0.1μm/m

*      直线度测量

2  轴向量程:0.1-4.0 m

2  测量范围:±2.5 mm

2  测量精度:±0.5% R±0.5±0.15M2 μm(M为光学镜移动距离,单位:m)

2  测量分辨率:0.01μm

*      垂直度测量

2  测量范围:±3/M mm/m

2  测量精度:±0.5% R±2.5±0.8M μm/m(M为光学镜移动距离,单位:m)

2  测量分辨率:0.01μm/m

*      平面度测量

2  轴向量程:0-15 m

2  测量范围:±1.5 mm

2  测量精度:±0.6% R±0.02 M2 μm/m(M为光学镜移动距离,单位:m)

2  测量分辨率:0.1μm

*      回转轴分度精度测量

2  角度测量范围:0-360°

2  精密转台角度增量:5°

2  精密转台分度精度:±1秒

2  精密转台重复性:0.2秒



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