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VMU仪器特点  
◆    高端配置，超精密全自动测量，四轴CNC控制；  
◆    三轴THK精密线性滑轨、精密传动系统；  
◆    Renishaw开放式光栅尺，精度高、稳定性好；  
◆    Navitar自动变倍光学镜头，可实现自动变倍测量；  
◆    全鼠标、手柄操作，简单易用；  
◆    可程控6环8区环形表面光源，LED轮廓光源，同轴光源；  
◆    自动对焦测高，可加装接触式测头；  
◆    Vispec全自动影像测量软件（高端版）；  
◆    提供多种行程规格配置，如222、322、432、542等。  
VMU技术参数  
型号    VMU222    VMU322    VMU432    VMU542      
行程(mm)    200×200×200    300×200×200    400×300×200    500×400×200      
外部尺寸(mm)    1040×700×1620    1040×700×1620    1240×800×1620    1440×900×1620      
重量(kg)    150    160    200    250      
承重(kg)    25    25    25    25      
测量精度    XY轴*    E2=(2.0+L/300)µm    E2=(2.5+L/300)µm      
    Z轴**    E1=(5.0+L/200)µm      
速度    XY轴    200mm/S      
    Z轴    100mm/S      
光栅尺    Renishaw光栅尺，0.4µm分辨率      
CCD    SONY    1/2"CCD黑白/彩色      
光源    轮廓光        LED冷光源，256级亮度可调      
表面光    6环8区LED冷光源，各段独立操控，256级亮度可调      
同轴光    LED冷光源，256级亮度可调      
光学系统***    Navitar    6.5:1可变倍，放大倍率29～163或58～326      
软件    Vispec测量软件（高端版）      
运动控制    自主专利的CNC直流伺服系统                                                                                                                                                                                                                                                                      

工作环境    温度20℃±2℃，温度变化<2℃/hr，湿度30～80%      
振动<0.002g，低于15Hz      
电源    220V/50Hz/10A      

*L表示测量长度，以毫米为单位。  
**Z轴的机械精度，聚焦的精度与工件表面有很大关系。  
***放大倍率为近似值，具体值与显示器的尺寸以及显示器的分辨率相关。