VMU仪器特点
◆  高端配置，超精密全自动测量，四轴CNC控制；
◆  三轴THK精密线性滑轨、精密传动系统；
◆  Renishaw开放式光栅尺，精度高、稳定性好；
◆  Navitar自动变倍光学镜头，可实现自动变倍测量；
◆  全鼠标、手柄操作，简单易用；
◆  可程控6环8区环形表面光源，LED轮廓光源，同轴光源；
◆  自动对焦测高，可加装接触式测头；
◆  Vispec全自动影像测量软件（高端版）；
◆  提供多种行程规格配置，如222、322、432、542等。
VMU技术参数
型号  VMU222  VMU322  VMU432  VMU542  
行程(mm)  200×200×200  300×200×200  400×300×200  500×400×200  
外部尺寸(mm)  1040×700×1620  1040×700×1620  1240×800×1620  1440×900×1620  
重量(kg)  150  160  200  250  
承重(kg)  25  25  25  25  
测量精度  XY轴*  E2=(2.0+L/300)µm  E2=(2.5+L/300)µm  
  Z轴**  E1=(5.0+L/200)µm  
速度  XY轴  200mm/S  
  Z轴  100mm/S  
光栅尺  Renishaw光栅尺，0.4µm分辨率  
CCD  SONY  1/2"CCD黑白/彩色  
光源  轮廓光    LED冷光源，256级亮度可调  
表面光  6环8区LED冷光源，各段独立操控，256级亮度可调  
同轴光  LED冷光源，256级亮度可调  
光学系统***  Navitar  6.5:1可变倍，放大倍率29～163或58～326  
软件  Vispec测量软件（高端版）  
运动控制  自主专利的CNC直流伺服系统                                                                                                                                  

工作环境  温度20℃±2℃，温度变化<2℃/hr，湿度30～80%  
振动<0.002g，低于15Hz  
电源  220V/50Hz/10A  

*L表示测量长度，以毫米为单位。
**Z轴的机械精度，聚焦的精度与工件表面有很大关系。
***放大倍率为近似值，具体值与显示器的尺寸以及显示器的分辨率相关。