主要特点：

    1.世界最高水平的高精度，高速度，高分辨率，全面测量物体的表面形状。

        2.驱动部采用线性马达，移动速度快，振动小，免维护。

    3.采用了光栅结合激光干涉的检出器，使机器的分辨率达到0．31nm。

    4.一次测量即可得到表面粗糙度和轮廓形状同时分析并输出打印。

    5.量程大，精度高，具有自动测量等多种功能。