SRP-4面铜探头测试技术参数：
铜厚测量范围：
化学铜：10  μin  –  500  μin  (0.25  μm  –  12.7  μm)
电镀铜：0.1  mil  –  6  mil  (2.5  μm  –  152  μm)
线形铜可测试线宽范围：8  mil  –  250  mil  (203  μm  –  6350  μm)
准确度：±1%  (±0.1  μm)参考标准片
精确度：化学铜：标准差0.2  %；电镀铜：标准差0.5  %
分辨率：0.01  mils  ≥  1  mil,  0.001  mils  <1  mil,  
0.1  μm  ≥  10  μm,  0.01  μm  <  10  μm,  0.001  μm  <  1  μm