负135度真空深冷机
超低温捕集泵
水蒸气，油蒸汽的残余气体产生的原因：
在高真空环境中，都存在有一定的残余气体。由于水分子量比氧气氮气等空气主要成分的分子量都小，因此，无论是油扩散泵还是分子泵，都无法迅速有效的将其抽空，故而越积越多，最后成为占残余气体65％~95％以上的剩余气体；同时，由于真空泵在使用过程中不可避免的产生泵油蒸发现象，故而会有少量油蒸汽进入真空系统。