自制电镀金刚石切割线各项性能均满足使用要求。 同时在现有设备上进行切割实验,研究在最佳工艺参数下制备的金刚石切割线的切割能力。结果表明该金刚石切割线在切割效率和加工精度方面均满足使用要求,线锯损坏小。在此情况下,同时对锯切后的金刚石线锯表面磨损形貌分析。分析认为：镀层有磨损但属于切削正常情况,整体没开裂、剥落现象,在目前情况下,证明电镀参数合理。电镀金刚石线切割单晶体技术工艺 在试验采用的工艺参数范围内,硅片的SR与SSD值随锯丝速度提高和工件进给速度降低而减小;硅片的Warp随锯丝速度和工件进给速度降低而减小;而综合考虑锯丝速度与进给速度的合理匹配关系是获得硅片低TTV值的原则。锯切试验中使用合成液做切削液改善晶片表面形貌,降低硅片的表面粗糙度、翘曲度和TTV的综合效果。研究发现电镀金刚石锯丝的磨损形式分为镀层磨损与磨粒磨损,主要磨损形式为磨粒的脱落,因此锯丝制造过程中应研究新措施来提高磨粒的把持力,从而提高锯丝的寿命。建立了锯丝表面周向分布的磨粒在锯切过程中的平均切削厚度理论模型,并结合观察加工表面形貌和切屑形态,研究了电镀金刚石线锯加工单晶硅的材料去除和加工表面形成机理,分析了加工表面材料去除方式与工艺参数的关系。锯丝表面周向分布的磨粒切深与磨粒所在的位置有关,位于锯丝底部的磨粒切深大,主要贡献于材料的去除,形成锯口,实现切片;而分布于靠近加工表面的磨粒切深小,主要贡献于晶片表面的形成。