同轴电极真空炉感应圈：用矩形铜管，采用双管并绕结构，冷却循环水分配合理，冷却好；感应圈每匝之间经过耐高压绝缘处理，确保在真空状态下，不打火放电。紧固感应圈的铜螺帽沉入胶木柱内，消除了螺母尖棱在真空状态下的打火放电。采用同轴电极与感应圈相接的结构，可使真空炉体与同轴电极连接部位密封结构简化，能够提高密封的可靠性、安全性与真空度。采用同轴电极可以节能。该产品现已广泛应用于真空多晶硅提纯设备上。