低温等离子体是继固态，液态，气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子，各种离子，原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以被称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子，自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。