本品为PTFE(聚四氟乙烯)硅片架,采用高纯度PTFE原料经精密一体成型工艺制成,无接缝、无毛刺,表面光滑无吸附,核心用于半导体行业硅片的支撑、摆放与转运,与PTFE硅片盒形成功能互补,适配半导体高洁净、强耐腐的使用场景。
与PTFE硅片盒(侧重密封储存、长期存放)不同,PTFE硅片架以“支撑、分层、便捷取放”为核心功能,不具备密封储存能力,主要用于硅片加工、清洗、检测等环节的临时支撑与摆放,解决硅片堆叠、摩擦导致的表面损伤问题,是硅片盒的重要配套工具,二者功能分工明确、协同作用。
材质方面,采用高纯度PTFE原料,具备极强的化学稳定性和耐腐蚀性,可耐受半导体生产中常用强酸、有机溶剂等,无任何杂质析出,符合半导体行业高洁净标准,避免对硅片造成污染;同时具备优异的耐温性能,可适应常温及中高温加工场景,不易变形、老化,使用寿命长。
结构设计贴合硅片使用需求,采用分层式支架结构,支架间距适配4英寸、6英寸、8英寸等不同规格硅片,可实现单片硅片独立支撑,避免硅片之间相互摩擦、刮伤,确保硅片表面(尤其是电路区域)完好;支架边缘做圆润处理,无尖锐棱角,防止划伤硅片;支架底部设有防滑纹路,放置平稳,可直接置于洁净车间工作台、清洗工位或检测区域,适配自动化操作流程。
核心用途与硅片盒形成明确区别:硅片盒侧重硅片的密封储存、长期存放及远距离转运,而PTFE硅片架侧重加工、清洗、检测过程中的临时支撑、分层摆放,具体包括:半导体生产中硅片加工工序间的临时支撑,避免硅片直接接触台面造成污染;清洗时的硅片分层支撑,确保每片硅片都能充分接触清洗液;检测时的硅片固定,便于工作人员操作;实验室小型硅片样品的临时摆放与预处理支撑,适配研发场景需求。
本品适配半导体洁净车间、实验室等场景,可根据硅片尺寸定制支架间距和规格,与PTFE硅片盒配合使用,既能满足硅片临时支撑、便捷取放的需求,又能配合硅片盒实现硅片从加工到储存的全流程防护,保障硅片品质,避免不必要的损耗。
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2026
四氟硅片架 特氟龙 实验耗材
来源:[南京滨正红仪器有限公司]
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