特点：

分辨率：每圈分辨率8,192,圈数8,192(SSI接口25位)

外形尺寸（毫米）：ATM60: 60, ATM90: 93

接口/ 驱动器：SSI或并口（推挽式）,Profibus, DeviceNet

电源电压（伏特）：DC 10...32

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伺服法兰：6mm 实心轴

面装法兰：10mm实心轴

运行速度：6.000

工作环境温度: - 20°C ... 85 °C

连接类型：径向电缆，径向圆形车削螺纹连接器系统

防护等级：IP67

膜后的基板上。阵列：主要设备种类蚀刻设备：蚀刻设备对应蚀刻工艺，是将基板上未被光阻覆盖的图形下方的膜蚀刻掉，留下具有所需图形的膜层的设备。主要生产厂商有o

an

inin公司(日本)、Evaech公司(日本)和SI公司。显影设备：使用还原剂把软片或印版上经过曝光形成的潜影显现出来。目前全球的曝光设备基本都被日本佳能和尼康垄断，单台曝光机价格高达2亿元币。剥离设备：经过蚀刻处

盲孔型

轴直径：6mm, 8mm, 10mm, 12mm, 15 mm, 1/4", 3/8", 1/2"

运行速度：3.000转/分钟

连接类型：电缆，圆形车削螺纹连接器系统

防护等级：IP67