电子级反式-1，2-二氯乙烯/DCE/TRANS-LC（DCE）
名称
反式-1,2-二氯乙烯/DCE/ TRANS-LC
化学式
C2H2Cl2
相对分子量
96.94
CAS号
156-60-5
理化性质
无色略带刺激气味液体，熔点－57℃，沸点48℃，密度1.265g/ml。易燃，其蒸气与空气可形成爆炸性混合物。与氧化剂能发生强烈反应。与酸碱需隔离存放。
主要用途:
高纯度氯源，主要用于晶圆制造过程中加快硅片氧化和清洗炉管。是半导体、分立器件、微机电系统（MEMS）、光伏制造业所需的电子化学品。
产品标准:
项目Item
标准值Standard Value
项目Item
标准值Standard Value
纯 度
99.999995%（7.5N）
锰（Mn）max
0.1ppb
铝（Al）max
0.3ppb
钠（Na）max
0.2ppb
银（Ag）max
0.1ppb
镍（Ni）max
0.1ppb
砷（As）max
0.1ppb
铌（Nb）max
0.1ppb
金（Au）max
0.1ppb
磷（P ）max
1.0ppb
硼（B ）max
1.0ppb
铅（Pb）max
0.1ppb
钡（Ba）max
0.1ppb
锑（Sb）max
0.1ppb
铋（Bi）max
0.1ppb
锡（Sn）max
0.1ppb
钙（Ca）max
0.8ppb
锶（Sr）max
0.1ppb
镉（Cd）max
0.1ppb
钛（Ti）max
0.1ppb
钴（Co）max
0.1ppb
锌（Zn）max
0.2ppb
铜（Cu）max
0.1ppb
酸度 max
5ppm
铬（Cr）max
0.1ppb
水份 max
20ppm
铁（Fe）max
0.6ppb
颗粒数≥0.1μm max
5p/ml
镓（Ga）max
0.1ppb
颗粒数≥0.2μm max
3p/ml
汞（Hg）max
0.1ppb
颗粒数≥0.5μm max
1p/ml
钾（ K）max
0.2ppb
色度
＜10APHA
锂（Li）max
0.1ppb
外观
无色透明液体
镁（Mg）max
0.1ppb
保质期
24个月
包装方式：
容器：石英源瓶
规格: 1500ml, 1000ml, 500ml, 400ml
外包装：容器外套厚质PVC胶袋，PE专用箱内置海绵缓冲
09
09
2021
厂家供应电子级反式-1，2-二氯乙烯DCE/TRANS LC 电子级DCE 电子级TRANS LC
来源:[深圳市旺达康新材料有限公司]
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供应地：广东省深圳市
产品型号：电子级反式-1，2-二氯乙烯
