合金靶材：铜铟镓硒靶（Cu-In-Ga-Se）、铜铟靶（Cu-In）、铜铟镓靶（Cu-In-Ga）铝铜合金靶材  (Al-Cu),铝就铬合金  靶材(Al-Cr),铝镁合金靶材(Al-Mg),铝硅合金  (Al-Si),铝银合金  (Al-Ag),铈钆合金  (Ce-Gd),铈钐合金  (Ce-Sm),铬硅合金靶材(Cr-Si),钴铬合金靶材  (Co-Cr),钴铁合金  (Co-Fe),钴铁硼合金(Co-Fe-B),铜钴合金  (Cu/Co)  ,铜镓合金靶材(Cu-Ga),铜铟合金靶材  (CuIn),铜镍合金靶材  (Cu-Ni),铜锆合金靶材（Cu-Zr)　,铪铁合金（HfFe),铁硼合金  (Fe-B),铁碳合金  (Fe-C),铁锰合金  (Fe-Mn),铱锰合金(Ir-Mn),铱铼合金(Ir-Re),铟锡合金  (In-Sn),钼硅合金靶材  (Mo-Si),镍铝合金靶材(Ni-Al),镍铬合金靶材  (Ni-Cr),镍铬硅合金靶材  (Ni-Cr-Si),镍铁合金靶材  (Ni-Fe),镍铌钛合金靶材  (NiNbTi)  ,镍钛合金靶材  (Ni-Ti),镍钒合金靶材  (Ni-V),钐钴合金靶材  (Sm-Co)，银铜合金靶材  (Ag-Cu),银锡合金靶材  (Ag-Sn),钽铝合金靶材(Ta-Al),铽镝铁合金靶材  (TbDyFe),铽铁合金靶材(TbFe),钛铝合金靶材(TiAl),钛镍合金靶材  (TiNi),钛铬合金靶材  (TiCr),钨铼合金靶材(WRe)  ,钨钛合金靶材(WTi),锆铝合金靶材(ZrAl),  锆铁合金靶材  (Zr-Fe)  ,锆镍合金靶材  (Zr-Ni),锆铌合金靶材(ZrNb),锆钛合金靶材(ZrTi),锆钇合金靶材  (ZrY)  ,锌铝合金靶材(ZnAl),锌镁合金靶材  (ZnMg).