电子级正硅酸四乙酯/
TEOS
名称
正硅酸四乙酯(TEOS)
化学式
C8H20O4Si
相对分子量
208.33
CAS号
78-10-4
理化性质
无色透明液体，熔点－77℃，沸点168.5℃，密度0.9346g/ml。在空气中较稳定；微溶于水，在纯水中水解缓慢；在酸或碱的存在下能加速水解作用。
主要用途
主要用于晶圆制造过程中的化学气相沉积（CVD）制程，用于生成二氧化硅和氮化硅薄膜。是半导体、分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的电子化学品。
典型应用
CVD类型
材料
APCVD
TEOS,O3
LPCVD
TEOS
PECVD
TEOS,O2
产品标准
项目Item
标准值Standard
Value
项目Item
标准值Standard
Value
纯 度
99.999999% (8N)
铌（Nb）max
0.1ppb
铝（Al）max
0.2ppb
镍（Ni）max
0.2ppb
银（Ag）max
0.1ppb
铅（Pb）max
0.1ppb
砷（As）max
0.4ppb
锑（Sb）max
0.1ppb
金（Au）max
0.1ppb
锡（Sn）max
0.2ppb
硼 （B）max
0.5ppb
锶（Sr）max
0.1ppb
钡（Ba）max
0.1ppb
钍（Th）max
0.1ppb
铍（Be）max
0.1ppb
钛（Ti）max
0.1ppb
铋（Bi）max
0.1ppb
铀（U ）max
0.1ppb
钙（Ca）max
0.5ppb
钒（V ）max
0.1ppb
镉（Cd）max
0.1ppb
钨（W ）max
0.1ppb
钴（Co）max
0.4ppb
锌（Zn）max
0.2ppb
铜（Cu）max
0.2ppb
锆（Zr）max
0.1ppb
铬（Cr）max
0.2ppb
Cl- max
0.5 ppm
铁（Fe）max
0.2ppb
水份
max
5 ppm
镓（Ga）max
0.4ppb
乙醇含量 max
3 ppm
汞（Hg）max
0.3ppb
颗粒数≥0.2μm
max
30 p/ml
钾（ K）max
0.2ppb
颗粒数≥0.3μm
max
20 p/ml
锂（Li）max
0.1ppb
颗粒数≥0.5μm
max
10 p/ml
镁（Mg）max
0.5ppb
颗粒数≥1.0μm
max
3 p/ml
锰（Mn）max
0.1ppb
色度
＜10APHA
钼（Mo）max
0.1ppb
外观
无色透明液体
钠（Na）max
0.5ppb
保质期
24个月
包装方法：316L不锈钢瓶，外装不锈钢柜。
09
09
2021
电子级正硅酸四乙酯/TEOS 高纯TEOS 电子级TEOS
来源:[深圳市旺达康新材料有限公司]
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产品型号：高纯电子级
