电子级三甲基铝(TMA)
一、分子式：Al(CH3)3
二、分子量：72.09
三、理化性质
无色透明液体，熔点15℃，沸点127℃，密度0.74g/ml。在空气中瞬间就能着火自燃，与具有活性氢的醇、酸及水剧烈反应。与己烷、庚烷等脂肪烃及甲苯、二甲苯等芳香烃以任意比例混溶。用烃系溶剂烯释到25%以下的三甲基铝失去自燃性。
四、用途
液态铝源，在光伏领域用于PECVD或ALD沉积Al2O3钝化膜。在半导体工业，用于沉积氧化铝膜，或与硅、铪、锆等一起沉积混和氧化物膜，或与氨一起沉积氮化铝膜。
五、质量指标
分析项目
技术指标（ppm）
分析项目
技术指标（ppm）
4N
4N
Al max
37.0-37.4%
Mn max
1
Ag max
1
Na max
3
B max
1
Ni max
1
Ba max
1
Pb max
2
Ca max
1
S max
1
Cd max
1
Si max
15
Cu max
1
Ti max
1
Cr max
1
V max
2
Fe max
1
Zn max
1
Ge max
1
O max
150
In max
1
色度（APAH），max
10
Mg max
1
六、包装
容 器：内抛光304不锈钢罐
气 口：1/4"VCR母接头
浸 管：1/4"VCR公接头
规 格：1kg、7kg、14kg
09
09
2021
半导体用电子级三甲基铝(TMA) 半导体用三甲基铝 电子级TMA
来源:[深圳市旺达康新材料有限公司]
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品牌：leadmat
价格：6000.00
元/公斤
供应地：广东省深圳市
产品型号：电子级三甲基铝(TMA)
