电子级亚磷酸三甲酯 (TMPI)
一、分子式: P(OCH3)3
二、分子量: 124.08
三、理化性质
无色液体，有刺激性臭味，熔点-78℃，沸点111～112℃，密度1.05g/ml。易燃，不溶于水。遇水缓慢分解为磷酸和甲醇。
四、用途
主要用于晶圆制造过程中沉积生成磷硅酸玻璃（PSG）和硼磷硅酸玻璃（BPSG）的磷源。是半导体、微机电系统（MEMS）制造所需的重要电子化学品。
五、质量指标
分析项目
技术指标
分析项目
技术指标
纯度
99.99999%（7N）
Li max
1 ppb
Al max
2 ppb
Mg max
3 ppb
Ag max
1 ppb
Mo max
1 ppb
As max
8 ppb
Mn max
1 ppb
Au max
1 ppb
Na max
2 ppb
Ba max
1 ppb
Ni max
1 ppb
Be max
1 ppb
Nb max
1 ppb
Bi max
1 ppb
Pb max
1 ppb
Ca max
4 ppb
Sb max
1 ppb
Cd max
1 ppb
Sn max
1 ppb
Co max
1 ppb
Sr max
1 ppb
Cu max
1 ppb
Ti max
1 ppb
Cr max
1 ppb
V max
1 ppb
Fe max
3 ppb
Zn max
2 ppb
Ga max
1 ppb
Zr max
1 ppb
Hg max
1 ppb
色度 max
＜10APHA
K max
1 ppb
颗粒数≥0.5μm max
15 p/ml
六、包装
容 器：316L材质钢瓶
气 口：1/4"VCR公阀门
浸 管：1/4"VCR母阀门
外包装：不锈钢柜
规 格：5L，19L
09
09
2021
半导体用电子级亚磷酸三甲酯(TMPI) 半导体用TMPI
来源:[深圳市旺达康新材料有限公司]
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价格：3000.00
元/L
供应地：广东省深圳市
产品型号：亚磷酸三甲酯
