电子级硼酸三甲酯 (TMB)
一、分子式: B(OCH3)3
二、分子量:103.92
三、理化性质
无色液体，无明显气味，性质稳定。熔点-29℃，密度0.915g/ml，沸点67～68℃。易燃，
与氧化剂能发生强烈反应。水解生成甲醇和硼酸，能与有机溶剂混溶。
四、用途
主要用于晶圆制造过程中化学气相沉积（CVD）生成硼磷硅酸玻璃（BPSG）。是半导体、
分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的重要电子化学品。
五、质量指标
分析项目
技术指标
分析项目
技术指标
纯度
99.99999%（7N）
Mg max
1 ppb
Al max
4 ppb
Mn max
1 ppb
Ag max
1 ppb
Na max
1 ppb
As max
1 ppb
Ni max
1 ppb
Au max
1 ppb
Nb max
1 ppb
Ba max
1 ppb
Pb max
1 ppb
Bi max
1 ppb
Sb max
1 ppb
Ca max
3 ppb
Sn max
1 ppb
Co max
1 ppb
Sr max
1 ppb
Cu max
1 ppb
Ti max
1 ppb
Cr max
1 ppb
Zn max
1 ppb
Fe max
2 ppb
水分，max
20ppm
Ga max
1 ppb
色度，max
＜20APHA
Hg max
1 ppb
颗粒数≥0.2μm max
30p/ml
K max
1 ppb
颗粒数≥0.5μm max
10 p/ml
Li max
1 ppb
颗粒数≥1.0μm max
3 p/ml
六、包装
容 器：316L材质钢瓶
气 口：1/4"VCR公阀门
浸 管：1/4"VCR母阀门
外包装：不锈钢柜
规 格：3L，5L，19L
09
09
2021
半导体用电子级硼酸三甲酯(TMB) 半导体用TMB
来源:[深圳市旺达康新材料有限公司]
联系人：宋先生
手机：15919406738
电话：0755-82382356
传真：0755-25841853
QQ：1205008114
Email：sales@leadmat.com
地址：广东省深圳市深圳市福田区八卦四路先科机电大厦1325
品牌：leadmat
价格：5000.00
元/L
供应地：广东省深圳市
产品型号：硼酸三甲酯(TMB)
