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品牌:光鑫
价格:8000.00
元/卷
供应地:广东省东莞市
产品型号:不限
摩擦布介绍 配向制程之设备装置主要由配向转轴(Rubbing Roller)、摩擦布、升降臂、基板载台所组成,一般而言,影响配向制程的参数包含:载台之移动速度、配向转轴之半径、配向转轴之转速、配向次数与配向压力等因素;其中转速与移动速度为制程控制参数,而摩擦布材质之选用则与配向后之基板良率优劣息息相关。 摩擦布之材质一般可分为棉(Cotton)、人造纤维(Rayon)、尼龙(Nylon)等,主要评估重点包含:高密度且均匀之毛刷尖端、耐化性、耐压性、弹性、静电性佳、不易掉毛等因素;其中静电性与掉毛性为影响制程良率之重大因素,静电累积(ESD)会造成TFT层之损害,也易造成灰尘粒子之吸附,进而影响洁净性,而因为摩擦制程所造成的毛屑掉落更是环境之大敌,虽然后续制程包含洗净(Clean)之动作,但如不能从摩擦布之材质作基本改善,则不易解决此问题。

