特点：
●  多个集中安装/O  形密封圈
●  陶瓷流量管（无引气管），0-1000sccm
●  塑料流量管（无引气管），0-6SLPM
●  高共模压力（150psi）
●  工作温度可至125?C
●  零点和满量程高稳定性
AWM40000  系列选型指南
流量范围
（满量程）
输出电压
@标定点
零点电压
零点漂移
+25~-25?C
+25~85?C
输出电压漂移
+25~-25?C
+25~+85?C
重复性&  迟滞
压降@满量程
（in  H2O）
电源（VDC）
功耗（mW）
反应时间（ms）
共模压力（psi）
输出负载
标定气体
比率变化量
工作温度
储存温度（?C）
冲击
AWM42150VH
±25sccm
8.5±1.5mV
@25sccm
0.0±1.0  mV  DC
±0.20mV  DC
+2.5%  读数(典型值)
-2.5%  读数(典型值)
±0.35%  读数
－－－
Min
8.0
---
---
---
NPN(电流沉):10mA
氮气
±0.3%  读数
-25~85C
-40~90C
100g  峰值(5drops,6axis)
AWM42300V
±1000sccm
54.7±3.7mVDC
@1000sccm
0.0±1.0  mV  DC
±0.20mV  DC
±2.5%  读数(最大值)
+6%  读数(最大值)
±1.00%  读数
1.50(典型值)
Typ.
10±0.01
50
1.0
---
PNP（电流源）：20mA
（AWM42150VH  为氢气）
AWM43300V
+1000sccm
5±0.15VDC
@1000sccm
1.00±0.05VDC
±0.025VDC
-5%  读数(最大值)
+6%读数(最大值)
±0.5%  读数
1.02(典型值)
Max.
15  (2)
60
3.0  (1)
150  (AWM43600V是25psi)
AWM43600V
+6LPM
5±0.15VDC
@6LPM
1.00±0.05VDC
±0.025VDC
-5%  读数(最大值)
+6%  读数(最大值)
±1.00%  读数
8.00(典型值)
注：1、从10%~90%  反应时间一般1  毫秒
2、输出电压随电源电压而比率变化
3、重复性和迟滞反应了测量设备的内在精度
4、最大的防止损坏的流量变化量：5LPM/1.0sec