圆柱硅片抛光机
    主要用途：
            该机主要适用用各种大尺寸硅片及晶体材料的抛光。
    工作原理：
            本系列硅片抛光机由四个吸附盘吸附硅片与抛光盘做逆时针旋转来达到抛光的目的。
    特点：
            1.本系列抛光机的吸附盘由四台单独的电机驱动、速度与压力可调。
            2.控制系统中采用PLC彩色终端等先进技术，系统的响应速度更快、更精确，并具有远程监控，远程维护的功能；
            3.本系列抛光机运行平稳，抛光后的产品厚度公差可控制在正负0.002mm范围内，粗糙度可达到0.0005mm。
    设备规格：
    型号        YM-18A            YM-24A          YM-36A        YM-48A  
    抛光盘规格        φ460*φ140        φ610*φ200        φ910*φ300          φ1220*φ400  
    最大抛光尺寸        φ150mm        φ200mm        φ300mm          φ450mm  
    抛光后平面度          ±0.5u以内        ±0.7u以内        ±1u以内          ±1u以内  
    工件平行度（25mm）        ±1u以内          ±1.5u以内        ±2u以内          ±2u以内  
    工件粗糙度          0.4nm以内          0.4nm以内        0.4nm以内          0.4nm以内  
    抛光盘电机功率          2.2kw  3相380V        3.7kw    3相380V        7.7kw    3相380V          11kw    3相380V  
    抛光盘转速          0~120rpm          0~100rpm        0~80rpm          0~60rpm  
    外形尺寸          700*1100*1100mm        950*1200*2200mm        1200*1400*2300mm        1500*1700*2400mm
    重量          960kg          1800kg          2600kg          4500kg