单晶氧化镁(氧化镁)在高温下具有较好的化学稳定性、热传导性和绝缘性，在高频时具有很小的介电常数和损耗，是一种可产业化的重要的高温超导薄膜单晶基片。由于基片的加工表面质量严重地影响在其表面所生长的高温超导(High Temperature Superconductor，HTS)薄膜的性能，所以如何获得超光滑无损伤的基片表面是一个亟待解决的问题。单晶氧化镁是典型的硬脆材料，目前实际生产所采用的机械抛光工艺存在抛光效率低、加工质量不稳定、碎片率高等问题。http://www.meijt.com/