活性炭在电子工业制作过程中发挥的作用

电子产业一直被视为清洁生产的典范，但实际情况并非如此。该行业使用的化学物质虽数量少，但品种繁多（60多种），其中许多都是易挥发物，其本身或次生的二次气体中化学毒性强的物质不少，随着对环保健康问题关注程度的增强，主要发达国家已相继立法，对电子产业废气实行限期治理。

      干式排气处理方式被认为对电子行业是最安全可靠的处理技术，常采用成型颗粒或破碎装颗粒活性碳品种，且总表面积应尽可能大。一般来说，添加了强碱的活性碳可用来吸附脱除卤素系气体：添加铜系和铁系金属盐类或氧化物的活性碳可用于脱除硅烷气体；添加膦系化合物的活性碳用于脱除氨气；添加CuO和Cu2O的活性碳可脱除氢氰酸和光气；加载ZnO和Na2ZnO2的活性碳催化剂可催化脱除砷化氢及氢氰酸、光气；加载Ag20的活性碳催化剂可催化脱除砷化氢；加载硫酸铜的活性碳可脱除氨气等。

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