石英玻璃脱羟时间取决于石英玻璃的制备工艺及规格尺寸、所采用的脱羟气氛及温度。

在正常熔制情况即氧化或中性气氛下如以SiCl4为原料

氢氧焰为热源高温水解气相沉积合成的石英玻璃和以水晶为原料、氢氧焰为热源炼熔制的石英玻璃中大部分羟基呈稳定状态，制品的规格尺寸大的话，即使脱羟基时间再长也很难将其中的羟基全部脱出。通常0.5~1.0mm厚合成和气炼石英玻璃片在真空或干燥的N2、1050℃的脱羟条件下，经过140h以上方可脱出50%左右的羟基，时间再长几乎不再脱出。

石英是自然界中大量存在的矿藏之一，化学成分为SiO2，在不同温度条件下具有多种变体：低于573℃，称其为α石英，具有压电效应；高于573℃，称其为β石英。其中纯净的、结晶完好的、透明的α石英又称之为水晶，是有固定晶形的晶体，自古以来备受人类宠爱，世界各国均将其列入宝石行列。

相比于普通玻璃而言，石英玻璃具有更加优越的物理和化学性能，其作为重要材料被广泛应用于国民经济领域、国家重大专项工程和国防工业等领域的高端装备上。石英玻璃具有极低的热膨胀系数，高的耐温性，极好的化学稳定性，优良的电绝缘性，低而稳定的超声延迟性能，透紫外光谱性能以及透可见光及近红外光谱性能，并有着高于普通玻璃的机械性能。因此它是近代尖端技术中空间技术、原子能工业、国防装备、自动化系统，以及半导体、冶金、化工、电光源、通讯、轻工、建材等工业中不可缺少的优良材料之一。

石英玻璃属于典型的脆硬材料，光学冷加工难度大，加工效率低，其生产工艺较为复杂。建材报最近报道：中国建材总院项目组通过对精密加工技术的研发，引入或试制了多种精密加工设备，并开发、完善了集成开发掩膜版用高精度石英玻璃基片的精密加工技术与系统。