石英玻璃除了氩氟酸和热磷酸外，其他液态与气态的氢卤酸和普通酸类及弱碱对它们都不起作用。和普通硅酸盐玻璃纤维一样，高硅氧玻璃纤维与石英玻璃纤维在受碱溶液侵蚀时，由于硅氧骨架遭到破坏，纤维强度急剧下降。因此，它们不适于在强碱性介质中应用。但弱碱溶液对它不起作用。同时它们也不溶于水和有机溶剂。石英玻璃在25℃水中，历时400天，仅溶出200ppm左右。

石英玻璃脱羟时间取决于石英玻璃的制备工艺及规格尺寸、所采用的脱羟气氛及温度。

在正常熔制情况即氧化或中性气氛下如以SiCl4为原料

氢氧焰为热源高温水解气相沉积合成的石英玻璃和以水晶为原料、氢氧焰为热源炼熔制的石英玻璃中大部分羟基呈稳定状态，制品的规格尺寸大的话，即使脱羟基时间再长也很难将其中的羟基全部脱出。通常0.5~1.0mm厚合成和气炼石英玻璃片在真空或干燥的N2、1050℃的脱羟条件下，经过140h以上方可脱出50%左右的羟基，时间再长几乎不再脱出。

由于石英玻璃是由单纯（SiO4）四面体组成的网络骨架，而硅氧气键强很大，结构紧密，故机械强度、耐热性能很高，热膨胀系数很小，化学稳定性也很好，同时，粘度大，软化点也很高，由于网络中无填隙的阳离子，所以密度小、导电率、介质损失也很小。