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和氧气混合作为外科和牙科手术的麻醉剂。它也可以作为一种检漏剂、制冷剂、以及用作原子吸收光谱用的助燃剂。在喷灯中用作氧化剂。在半导体器件制造工艺中,用作平衡报或保护气,在化学气相淀积(CVD)工艺中,用于制备掺杂二氧化硅膜