纯度大于99.999％。无色无臭无味无毒的惰性气体。相对密度ds(21.1℃，空气=1)0.967。气体密度1.153kg/m3(21.1℃，101.3kPa)；液体密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。沸点-195.8℃。熔点-209.9℃。氮气纯化方法主要有吸附法、变压吸附法、膜分离法等。在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气体。