联系人：袁先生
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品牌：HELLER
价格：面议
元/台
供应地：
产品型号：PCO 1300
全自动压力固化炉，300mm EFEM。
固化炉尺寸（mm）： 2，200[W] x 2，200[D] x 2，475[H]
腔室可用面积（mm）： 560[W] x 680[D] x 480[高H]
最大工作压力：20 bar （290 psi）
工作温度：260? C
启用氮气（可选）
洁净室等级 100（可选）
真空度低至 5 Torr（可选）
全自动装载EFEM（300mm晶圆
