适用靶材
品牌
英鹏
型号
YP-150IS/EX
腔体尺寸
石英玻璃，直径150mm*高度130mm
供电规格
AC220V,200W
溅射电压
MAX 2500V
溅射电流
MAX 30mA
靶材尺寸
直径57mm,厚度0.1~0.5mm
贵金属Pt、Au、Pt-Pd、Au-Pd、Au-Pt,
普通金属Cu、W、Ag、Cr等
样品台可调高度
20-50mm
样品台尺寸
直径55mm
工作真空度
1~20Pa
气体路数
单路
补气流量
手动调节
控制
触屏控制
真空泵
VRD-8
06
26
2023
防爆离子溅射仪YP-150IS/EX
来源:[广州英鹏光电科技有限公司]
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品牌：英鹏
价格：面议
元/台
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