上海某大学研究中心采用伯东 KRI 考夫曼射频离子源 FRICP380 辅助制备三维原子探针样品, 主要是对三维原子探针样品进行蚀刻, 使样品变薄
伯东 KRI 射频离子源 RFICP380 技术参数:
射频离子源型号
RFICP380
Discharge 阳极
射频 RFICP
离子束流
>1500 mA
离子动能
100-1200 V
栅极直径
30 cm Φ
离子束
聚焦, 平行, 散射
流量
15-50 sccm
通气
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
典型压力
< 0.5m Torr
长度
39 cm
直径
59 cm
中和器
LFN 2000
运行结果:
1. 采用 KRI 考夫曼射频离子源 FRICP380可以克服锆合金脆断的问题
2. 制备得到的样品满足了三维原子探针观察样品的要求
3. 可实现三维原子探针样品的快速, 便捷, 高效制备
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2023
考夫曼聚焦射频离子源 RFICP380 辅助制备原子探针样品 考夫曼离子源
来源:[伯东企业（上海）有限公司]
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地址：上海上海市浦东新区上海市外高桥保税区希雅路33号17号楼B座3层，200131
品牌：KRI
价格：面议
元/
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