型号
VHS-10
VHS-400
HS-16
HS-32
NHS-35
抽速空气，L/s
3650
4500
6000
17300
28000
前级耐压Torr/mbar
0.65/0.85
0.65/0.82
0.50/0.65
0.55/0.71
推荐前级泵抽速m3/hr
30/51
30/51
80/136
300/510
300/510
返油率mg/cm2/min
5×10-4
1×10-3
1.5×10-3
7×10-4
5×10-4
启动时间（min）
15
30
45
60
－－
电源
3ph,50Hz,
3ph,50Hz,
3ph,50Hz,
3ph,50Hz,
3ph,50Hz,
功率
4400
4400
8100/9600
24000
24000
冷却水l/hr,15-26°C
0.4/80
0.4/80
1.5/300
4.0/800
4.0/800
型号
AX-65
HS-2
VHS-4
VHS-6
VHS-250
抽速空气，L/s
65
160
750
1550
2125
前级耐压Torr/mbar
推荐前级泵抽速m3/hr
0.15/0.25
5.0/8.5
10/17
17/28.9
17/28.9
返油率mg/cm2/min
2×10-4
1×10-3
5×10-4
5×10-4
5×10-4
启动时间（min）
7
15
10
10
15
电源
1ph,50Hz,
1ph,50Hz,
1ph,50Hz
1ph,50Hz,
3ph,50Hz,
功率
200/250
450
1450
2200
2200
冷却水l/hr,15-26°C
N/A
0.1/20
0.15/30
0.25/50
0.25/50
没有负载
有负载
0.65/0.85
0.55/0.72
0.55/0.72
0.55/0.72
0.35/0.45
0.40/0.52
标准冷带
380V
380V
380V
380V
380V
没有负载
有负载
0.75/1.0
0.6/0.78
0.55/0.72
0.4/0.52
0.65/0.86
0.55/0.73
0.65/0.85
0.55/0.72
0.65/0.85
0.55/0.72
标准冷带
220V
240V
240V
240V
240V
06
17
2024
美国瓦里安扩散泵 VARIAN
来源:[深圳高志自动机电有限公司]
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