晶圆洁净氮气储物柜

柜体材质:采用双镜面SUS304不锈钢板. 
除湿等级:相对湿度10%RH-40%RH. 

洁净等级:Class10,Class100可选.

无尘风机:采用无尘室专用FFU风机,面风速:0.3～0.5m/s.
高效滤网:过滤效率≥99.99995%@0.1～0.2μm,滤料采用国外超细玻璃纤维;

压差表:美国 DWYER压差表.动态监测过滤网. 
静电消除:安装离子风棒消除静电,可确保柜体内的静电残余值≤500V; 
规格配置:标准规格有N10E-2450-6.

工作电压:AC220V/50Hz,上限功率:400W.  
FFU及温湿控制:采用7寸电脑触摸屏控制.对湿度设定控制,可对FFU转速进行控制,可自动控制氮气流量,无需浮子流量计,实现反馈控制,节省氮气,精度高.
湿度显示范围:0%-99.9%RH. 
温度显示范围:0℃-99.9℃. 
温湿度显示器精度:相对湿度±3%Rh,温度±1℃.

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