四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量装置，它可以测量片状、块状半导体材料的电阻率，扩散层的薄层电阻。换上四端子测试夹具，还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。

应用：
四探针测试仪适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位对半导体材料的电阻性能测试。
四探针软件测试系统是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序，通过此测试程序辅助使用户简便地进行各项测试及获得测试数据并对测试数据进行统计分析。
测试程序控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据进行各种数据分析。


设备特点：
1、可以测量高温、真空、气氛下薄膜方块电阻和薄层电阻率；
2、软件、触摸屏、高温炉等集成于一体，可以进行可视化操作；
3、可实现纯净气氛条件下的测量；同时保Z探针在高温下不氧化；
4、采用labview软件开发，操控性、兼容性好、方便升级；
5、可自动调节样品测试电压，探针和薄膜接触闪络现象；
6、控温和测温采用同一个传感器，保Z样品每次采集的温度都是样品实际温度；
7、可配套使用Keithley2400或2600数字多用表。

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