纳米压痕仪主要用于测量纳米尺度的硬度与弹性模量，可以用于研究或测试薄膜等纳米材料的接触刚度、蠕变、弹性功、塑性功、断裂韧性、应力-应变曲线、疲劳、存储模量及损耗模量等特性。可适用于有机或无机、软质或硬质材料的检测分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩绘釉漆，光学薄膜，微电子镀膜，保护性薄膜，装饰性薄膜等等。基体可以为软质或硬质材料，包括金属、合金、半导体、玻璃、矿物和有机材料等。

主要应用：
半导体技术（钝化层、镀金属）；存储材料（磁盘的保护层、磁盘基底上的磁性涂层、CD的保护层）；光学组件（接触镜头、光纤、光学刮擦保护层）；金属蒸镀层；防磨损涂层；工程学（油漆涂料、橡胶、触摸屏、MEMS）等行业。

技术特点：
1、完全符合ISO14577、ASTME2546；
2、光学显微镜自动观察；
3、D特的热漂移控制技术；
4、可硬度、刚度、弹性模量、断裂刚度、失效点、应力－应变、蠕变性能等力学数据；
5、适时测量载荷大小；
6、采用独立的载荷加载系统与高分辨率的电容S度传感器；
7、快速的压电陶瓷驱动的载荷反馈系统；
8、双标准校正：熔融石英与蓝宝石。

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