美国AE直流电源维修MDX-5K射频电源维修

北京天浦正达AE直流电源维修中心可维修故障范围包括:

无输出,烧保险,开不了机,面板无显示修,启动无输出,输出电压不正常,带不了负载,模块坏等

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AE MDX系列直流电源操作

前面板：

AE MDX直流电源操作及接线说明

1）指示灯

Output Power

a)Stop的指示灯亮时，表示电源已关闭

b)Start的指示灯亮时，表示电源已打开Regulation

a)Power的指示灯亮时，表示电源处于功率模式，设定值是功率值

b)Current的指示灯亮时，表示电源处于电流模式，设定值是电流值

c)Power和Current的指示灯同时亮时，表示电源处于电压模式，设定值是电压值

d)Power和Current的指示灯同时闪时，表示电源处于未知模式Status

a)Arc指示灯亮时，表示腔室内阻抗过低，输出电流过电源规定的大值

b)Setpoint指示灯亮时，表示电源的输出值已经达到设定值

c)Remote指示灯亮时，表示电源的开关或设置值处于远控模式

d)Output指示灯亮时，表示电源已经打开

e)Plama指示灯亮时，表示输出电流大于10mA

f)Interlock指示灯亮时，表示互锁已经满足，若不满足，则该灯闪烁

Level键：用于设置电源参数

Display键：按改键可切换显示功率、电压或者电流

拨码开关

RAMP，0.1 Sec：开关置下时，表示电源输出从0到设定值的时间为0.1秒

RAMP，1.0 Sec：开关置下时，表示电源输出从0到设定值的时间为1.0秒

RAMP，10 Sec：开关置下时，表示电源输出从0到设定值的时间为10秒C HOLD：开关置下时，可缩短一次以后电源输出值达到设定值的时间ON/OFF：开关置上时，表示通过User Port来打开或者关闭电源，置下时，表示通过前面板打开或者关闭电源

AE电源维修常见型号系列：

AE电源维修，美国MDX,MDXII,Pinnacle,Diamond系列AE电源维修，AE电镀电源维修，AE射频电源维修，电镀高频电源维修，刻蚀射频电源维修，RE射频电源维修，PECVD射频电源维修，大功率工业电源维修，UPS电源维修等各行业工业用电源维修

射频电源设备维修：刻蚀，RIE,PECVD,ICP,射频溅射，CVD和PVD等系统

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