镀膜工艺气体分析仪 SPM 220
镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220 组成：涡轮分子泵+四级杆质谱+离子源
镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220 优势：
SPM 系统控制
BRU 220
电压
115-230 V
前级泵
MVP 020-3
四极控制
QME 220
带 SPM 离子源的分析仪
QMA 220
探测器
C-SEM/Faraday
杆系统：材料
不锈钢
杆系统：直径
6 mm
杆系统：长度
100 mm
检测极限（氩中）：二氧化碳
< 100 ppb
检测极限（氩中）：氧气
< 100 ppb
检测极限（氩中）：氮
< 100 ppb
检测极限（氩中）：水
< 3000 ppb
检测极限（氩中）：水蒸气
< 500 ppb or < 6000 ppb
涡轮分子泵
带有 TC 110 RS 的 HiPace 80
质量数
1-100 amu or 1-200 amu
过程压力至
1 hPa or 10 hPa or 8hPa
连接法兰（入口）
DN 40 CF-F
重量
13 kg
若您需要进一步的了解详细信息或讨论，请参考以下联络方式：
镀膜工艺气体分析仪 SPM 220
镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220 组成：涡轮分子泵+四级杆质谱+离子源
镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220 优势：
SPM 系统控制
BRU 220
电压
115-230 V
前级泵
MVP 020-3
四极控制
QME 220
带 SPM 离子源的分析仪
QMA 220
探测器
C-SEM/Faraday
杆系统：材料
不锈钢
杆系统：直径
6 mm
杆系统：长度
100 mm
检测极限（氩中）：二氧化碳
< 100 ppb
检测极限（氩中）：氧气
< 100 ppb
检测极限（氩中）：氮
< 100 ppb
检测极限（氩中）：水
< 3000 ppb
检测极限（氩中）：水蒸气
< 500 ppb or < 6000 ppb
涡轮分子泵
带有 TC 110 RS 的 HiPace 80
质量数
1-100 amu or 1-200 amu
过程压力至
1 hPa or 10 hPa or 8hPa
连接法兰（入口）
DN 40 CF-F
重量
13 kg
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上海伯东 : 罗先生 台湾伯东 : 王小姐
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上海伯东德国普发 Pfeiffer 真空镀膜工艺监测器 SPM 220 为镀膜工艺的定性和定量气体分析提供了完美的解决方案. 搭配 HiPace 涡轮分子泵组和专门开发的镀膜工艺监测器离子源, 在高达 10-2 hPa 的压力下, 实现了精确到分钟的工艺气体分析. Pfeiffer 同时提供一个带有压差孔板法兰的型号供选择, 可以实现在高达 10 hPa 的压力范围里进行直接的工艺气体分析.
镀膜工艺气体分析仪 SPM 220 优势
用于瞬时过程监测的镀膜工艺监测器离子源
用于 H2, O2, H2O 和 CO2 的优秀检测限
对测量结果的最小化背景影响
提供压力高达 10 hPa 的压差型号
多重操作允许带单个 PC 的多个质谱仪系统进行数据评估
灵活集成的紧凑尺寸
通过各种数字和模拟输入和输出, 使系统集成方便而灵活
镀膜工艺气体分析仪 SPM 220 应用
半导体生产,玻璃镀膜, 薄膜太阳能电池发电,研发
镀膜工艺监测器离子源，适用于瞬时过程监测
对气体H2、O2、H2O 和 CO2 优秀检测极限
对测量结果的最小化背景影响
压力高达 10 hPa 的压差版本
多重操作允许带单个 PC 的多个质谱仪系统进行数据评估
紧凑设计，易于系统集成
通过各种数字和模拟输入和输出
Pfeiffer监测质谱 SPM 220 技术参数：
上海伯东德国普发 Pfeiffer 真空镀膜工艺监测器 SPM 220 为镀膜工艺的定性和定量气体分析提供了完美的解决方案. 搭配 HiPace 涡轮分子泵组和专门开发的镀膜工艺监测器离子源, 在高达 10-2 hPa 的压力下, 实现了精确到分钟的工艺气体分析. Pfeiffer 同时提供一个带有压差孔板法兰的型号供选择, 可以实现在高达 10 hPa 的压力范围里进行直接的工艺气体分析.
镀膜工艺气体分析仪 SPM 220 优势
用于瞬时过程监测的镀膜工艺监测器离子源
用于 H2, O2, H2O 和 CO2 的优秀检测限
对测量结果的最小化背景影响
提供压力高达 10 hPa 的压差型号
多重操作允许带单个 PC 的多个质谱仪系统进行数据评估
灵活集成的紧凑尺寸
通过各种数字和模拟输入和输出, 使系统集成方便而灵活
镀膜工艺气体分析仪 SPM 220 应用
半导体生产,玻璃镀膜, 薄膜太阳能电池发电,研发
镀膜工艺监测器离子源，适用于瞬时过程监测
对气体H2、O2、H2O 和 CO2 优秀检测极限
对测量结果的最小化背景影响
压力高达 10 hPa 的压差版本
多重操作允许带单个 PC 的多个质谱仪系统进行数据评估
紧凑设计，易于系统集成
通过各种数字和模拟输入和输出
Pfeiffer监测质谱 SPM 220 技术参数：
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
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12
10
2021
伯东代理镀膜工艺气体监测质谱 SPM 220 分子泵 真空泵 涡轮分子泵
来源:[伯东企业（上海）有限公司]
联系人：叶女士
手机：13918837267
电话：021-50463511(109)
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Email：ec@hakuto-vacuum.cn
地址：上海上海市浦东新区上海市外高桥保税区希雅路33号17号楼B座3层，200131
品牌：pfeiffer
价格：面议
元/个
供应地：上海上海市
产品型号：
