表面形貌仪是德国进口的G精度多功能表面轮廓测量仪器，也是一款光学表面形貌仪，非常适合对表面几何形状和表面纹理分析，以标准方案或定制性方案对二维形貌或三维形貌表面形貌和表面纹理，微米和纳米形状，圆盘，圆度，球度，台阶高度，距离，面积，角度和体积进行多范围测量。

三维表面形貌仪根据标准计算2D和3D参数，使用的ISO 25178 标准表面纹理分析，依靠的 ISO 16610 滤除技术进行计算，从而保Z了国际公信力。

三维表面形貌仪创造性地采用接触式和非接触式测量合并技术，一套表面形貌仪可同时具有接触式和非接触式测量的选择。

三维形貌仪参数：
定位台行程范围：X：200 mm；Y：200 mm；Z：200 mm (电动)
接触式测量范围：范围0.1mm， 分辨率2nm， 速度 3mm/s；范围2.5mm 分辨率40nm， 速度3mm/s
非接触式测量范围：
范围：300um，分辨率2nm，速度30mm/s
范围：480um，分辨率2nm，速度30mm/s
范围：1mm，分辨率5nm，速度30mm/s
范围：3.9mm，分辨率15nm，速度30mm/s
表面形貌仪应用：测量轮廓，台阶高度，表面形貌，距离，面积，体积
分析形态，粗糙度，波纹度，平整度，颗粒度
摩擦学研究，光谱分析

三维形貌仪广泛用于：磨料磨具，航天，汽车，化妆品，能源，医疗，微机电系统，冶金，造纸和塑料等领域。

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