我们知道溶解现象中，两种或两种以上的物质组成的均匀体系被称作溶体，其中含量较多的被称为溶剂，少的则被称为溶质，它们都可以是气体、液体或者固体。液体溶解于液体、气体溶解于液体及固体溶解于液体等都广为人知，但气体溶解于固体，虽然一直发生在日常中，但大多不会在意到。但是在真空应用中，如果对材料放气要求严格的应用领域，溶解在固体材料中的气体就会对真空度产生影响，因此很多应用中会对设备材料进行烘烤除气等。
防爆真空泵-气体在固体中发生的溶解需要经过吸附，部分气体在固体表面离解为原子态，逐渐溶解，使气体在固体表层达到与环境气压相对应的一个溶解浓度。然后因为浓度差，气体会在固体内部扩散，直至达到平衡，最后扩散到固体的另一侧表面后，会重新结合成分子态脱附而出。这样的一整个过程就是渗透。
防爆真空泵-气体在固体中的溶解与渗透首先与气体固体的配组性质有关，如分子的亲和力、材料致密度等，亲和力强的气体分子溶解度大，原子直径小的气体易溶于金属，材料致密度小时能溶解更多气体分子等等；其次是压力，压力越高，溶解度就越大；最后是温度，对于溶解过程中有吸热效应的，溶解度随温度升高而增大，当溶解中有放热效应的，溶解度随温度升高而减小。
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