荧光检漏法是一种利用荧光材料作为漏孔指示材料的无损检漏方法。此前的几种真空系统检漏方法，很难用于一些不成系统的零散真空部件的漏孔检测，而荧光检漏法就可以很好的解决这个问题。
螺杆真空泵-荧光检漏法首先需要将荧光材料溶于如丙酮等一些浸润性能好、易于挥发的有机溶剂中，使之成为饱和溶液；然后将被检的真空部件外表面浸泡到溶液中或涂抹到部件表面，这一过程中，为了提升效果、缩短浸泡时间，可以在抽真空或者加压条件下对其进行浸泡。如果存在漏孔，荧光剂溶液会因毛细作用渗入到其中；清除表面多余的溶液，待有机溶剂挥发后，荧光材料便会在漏孔中残留下来；此时再用紫外线灯光照射，漏孔位置就会观察到明显的荧光点。
螺杆真空泵-在进行紫外光源照射时，对于一些存在盲孔、表面不平的器件，可能也会存在残留荧光材料，因此玻璃真空器件最好在背面进行照射观察；为了提高对比度也可以采用滤光放大镜，过滤掉紫外线以外的其他光线，来获得更佳的观察效果；而在荧光材料的选择时要注意其发光颜色和被检真空部件的颜色要有明显的反差。
荧光检漏法不仅用于真空系统检漏中，而且也被用于铸件、模压金属件以及焊接件的裂纹检查等。
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